结构光场纳米位移传感器在高端装备中的应用验证测试数据集

数据集内容：包含传感器应用验证的工件台测试数据、纳米位移传感器的测试数据、稳定性测试数据，包括研究过程的实验测试数据、相关测试报告及指标对应的专利3件、论文1篇、软著1项、应用验证报告2份；
数据来源：针对结构光场纳米位移传感器验证平台性能表征、线位移传感器性能测试、角位移传感器性能测试，获取实验数据。采集地点及时间：实验过程在中国科学院光电技术研究所及中国科学院微电子研究所进行，2021年12月1日至2024年11月30日。