结构光场纳米位移传感器在高端装备中的应用验证测试数据集

数据集内容：包含传感器应用验证的工件台测试数据、纳米位移传感器的测试数据、稳定性测试数据，包括研究过程的实验测试数据、相关测试报告及指标对应的专利3件、论文1篇、软著1项、应用验证报告2份； 数据来源：针对结构光场纳米位移传感器验证平台性能表征、线位移传感器性能测试、角位移传感器性能测试，获取实验数据。采集地点及时间：实验过程在中国科学院光电技术研究所及中国科学院微电子研究所进行，2021年12月1日至2024年11月30日。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集记录了结构光场纳米位移传感器在高端装备应用验证过程中的测试数据，包括工件台测试、纳米位移传感器性能测试及稳定性测试等实验数据，并附带相关专利、论文、软著和应用验证报告。数据来源于中国科学院光电技术研究所和微电子研究所的实验平台，采集时间为2021年12月至2024年11月。