8英寸温度传感器成套工艺关键步骤工艺参数数据集

温度传感器能够实现微型化、低功耗、集成化，从而满足各种复杂应用场景的需求。本数据集含有8英寸温度传感器成套工艺关键步骤工艺参数的VOx薄膜厚度、方阻值、第一层MEMS与CMOS对准精度、聚酰亚胺（PI）薄膜牺牲层厚度、温度传感器小批量生产能力和良率核心结构参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内VOx薄膜厚度平均值、最大值、最小值、标准差；方阻值平均值、最大值、最小值和标准差；第一层MEMS与CMOS对准精度；聚酰亚胺（PI）薄膜牺牲层厚度平均值、最大值、最小值，以及传感器小批量生产能力和良率数据。本数据集为8英寸温度传感器成套工艺关键步骤工艺参数，为温度传感器的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。