微孔加工平台联动状态报告

微孔加工平台用于解决本项目高密度单晶面阵探头中背衬材料微孔加工问题。本项目中背衬材料选用能够起到有效阻尼作用的粘弹性材料。由于该类材料不是脆性的，因此难以采用普通机加工设备实现微孔制备。本项目中采用高速空气主轴、精密导轨及控制电路实现粘弹性背衬材料打孔。经测试，该自制设备联动性能满足应用需求。