超纯净金刚石种晶及外延薄膜技术研究报告

本项目研究建立在数值模拟基础上的可控 6kW 等离子耦合反应系统，构建温度分布高对称性、高稳定的金刚石晶体生长等离子场；研究大尺寸金刚石单晶生长过程的外延生长、垂直及径向温场随晶体长大而发生变化的规律；通过解决大尺寸金刚石生长显微裂纹、杂质混入、边缘等离子体集中等工艺稳定性问题，研制出大尺寸高品质单晶金刚石生长设备及生长工艺。产品达到天然器件级质量水平，尺寸达到 10×10mm2，满足本项目使用。