激光直写低维热电多层异质界面三维超结构构筑研究数据集

该数据集对应课题三研究内容（3），覆盖项目考核指标 3.2，3.3，3.4，包含飞秒激光以及纳秒激光刻蚀块体、厚膜以及薄膜 Bi2Te3基材料的各项实验参数，包括激光图案化加工示意图，实验研究的原始数据，图案化加工的表面形貌图片，微型热电器件集成方案示意图，微型热电器件实物图，器件图纸，微型热电器件发电性能测试的照片，第三方检测报告。包括实验研究原始记录数据、图表及指标对应的 11 篇论文和 3 项专利。