X射线准直部件表面膜层制备数据

镀有梯度多层膜的X射线反射镜在同步辐射光源、实验室用X射线仪器中起着重要作用。直线运动式磁控溅射镀膜设备和行星运动式磁控溅射镀膜设备可以分别通过添加掩模板与控制基板运动速率来进行梯度多层膜的制备。靶材与基板的距离、溅射功率、基板运动速率、掩模板开孔孔径等参数对膜层的周期厚度和成膜质量均会产生影响。采用真空设备对样品进行退火处理，并通过X射线衍射仪针对退火前后的样品进行测试，评估对应的膜层微结构。使用X射线衍射仪和透射电子显微镜，记录X射线两维准直部件表面膜层制备过程的相关数据。数据量约为12MB。