高质量单晶AlN薄膜性能表征数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-05-02 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69f0d992f175603f0685dbc7&type=1
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资源简介：
数据集主要面向宽禁带半导体材料研究、器件工艺优化需求建设，基于材料表征实验室高分辨 X 射线衍射仪、扫描电子显微镜以及应力测试仪产生，主要记录了单晶 AlN 不同晶面 X 射线摇摆曲线（XRC）半高宽数据，应力（翘曲度）、表面形貌与截面微观结构图像观测数据，数据体量 136.18MB。
提供机构：
华南理工大学
