高质量单晶AlN薄膜性能表征数据集

数据集主要面向宽禁带半导体材料研究、器件工艺优化需求建设，基于材料表征实验室高分辨 X 射线衍射仪、扫描电子显微镜以及应力测试仪产生，主要记录了单晶 AlN 不同晶面 X 射线摇摆曲线（XRC）半高宽数据，应力（翘曲度）、表面形貌与截面微观结构图像观测数据，数据体量 136.18MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集面向宽禁带半导体材料研究与器件工艺优化需求，利用高分辨X射线衍射仪、扫描电子显微镜及应力测试仪，采集了高质量单晶AlN薄膜不同晶面的X射线摇摆曲线半高宽、翘曲度应力以及表面与截面微观结构图像等观测数据，数据总量为136.18MB。