CFD_GaN_MOCVD行星式薄膜沉积速率优化研究数据

本数据集围绕行星式GaN-MOCVD薄膜沉积速率优化展开，基于CFD模拟与响应面模型研究，通过优化七片6英寸晶圆行星式结构不同基板转速，分析转速对薄膜生长速率与均匀性的影响，提出工业应用的转速匹配优化方案，为半导体薄膜制备提供参考。