СТРУКТУРНЫЕ АСПЕКТЫ ЭВОЛЮЦИИ СВЕРХГЛАДКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ИОННЫХ КРИСТАЛЛОВ. ПРИМЕНЕНИЕ В ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЯХ
收藏DataCite Commons2022-08-23 更新2025-04-16 收录
下载链接：
http://www.issp.ac.ru/ebooks/conf/Def.Mater.pdf#page=160
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
Террасноступенчатые структуры (ТСН) из атомногладких граней на вицинальных поверхностях кристаллов возникают вследствие анизотропии их поверхностной энергии и наблюдаются на свежих сколах, растущих или подвергнутых травлению поверхностях кристаллов. Развитие технологии обработки кристаллов (Si,сапфир Al2O3, SiC, GaN, LiNbO3, SrTiO3 и др.) как подложечных материалов и элементов рентгеновской и интегральной оптики привело к получению сверхгладкой поверхности (Rz0.2 nm), на которой проявляется дискретность и периодичность, присущие строению кристаллов
提供机构：
Институт физики твердого тела РАН
创建时间：
2019-11-05
