新型MRAM器件版图设计
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
本数据集是是利用L-EDIT软件绘制的64KB STT-MRAM存储阵列测试版图以及8英寸SOT-MTJ器件后道集成工艺所设计的专用版图，是为开发64KB STT-MRAM存储阵列片上集成工艺所设计的专用版图，包括了基于8英寸前道CMOS工艺、8英寸STT-MRAM后道工艺的全部制版信息，数据量27.8MB。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
