SiC外延片合金背金层微磨削加工质量表征数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
表征微磨削切割质量的SiC样品底部表面粗糙度和微观形貌测量与表征数据；表征微磨削产生的SiC样品亚表面损伤的形貌数据；加工质量对材料性能影响的分析报告。以上数据集也用于SiC 外延片机械-激光复合切割技术的开发基础。
提供机构：
湖南大学
