超表面加工工艺测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-11 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69d52a20f175607ae3f0ccdd&type=1
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资源简介：
加工工艺测试实验数据集来源于电子束曝光机进行电子束曝光，金属膜沉积和干法刻蚀的优化工艺步骤，并通过上述工艺步骤加工氮化硅超表面样品，最后通过手机拍摄超表面样品图和超高分辨场发射电镜拍摄超表面结构的电镜图。数据量为54.72MB。
提供机构：
中国科学技术大学
