超表面加工工艺测试数据集

加工工艺测试实验数据集来源于电子束曝光机进行电子束曝光，金属膜沉积和干法刻蚀的优化工艺步骤，并通过上述工艺步骤加工氮化硅超表面样品，最后通过手机拍摄超表面样品图和超高分辨场发射电镜拍摄超表面结构的电镜图。数据量为54.72MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集包含通过电子束曝光、金属膜沉积和干法刻蚀等工艺加工的氮化硅超表面样品的测试数据，包括手机拍摄的超表面图像和扫描电镜拍摄的高分辨率显微图像；数据量为54.72MB，覆盖了加工工艺优化过程中的关键成像记录。