AlScN单晶压电薄膜集成声路系统测试数据

本数据集包含AlScN单晶压电薄膜材料性能测试及其集成声路系统在细胞时空操控应用中的实验数据。主要包含2个部分：（1）单晶AlScN压电薄膜的性能测试数据，包括薄膜结构图像、AlScN薄膜的002半波高宽和压电系数d33。（2）集成声路系统细胞时空操控测试数据，包括基于AlScN薄膜构建的集成声路系统设计仿真文件，细胞时空操控样品流量和时空分辨率测试数据。数据集数据产生时间为2021年12月至2024年12月，场地为杭州电子科技大学。