跨尺度微纳结构加工装备样机工艺数据集

跨尺度微纳结构加工装备样机工艺数据集主要针对跨尺度无掩膜光刻样机研制，记录跨尺度无掩模纳米光刻装备样机总体方案设计图纸，以及集成、安装和调试等实验数据，包括研制光刻工艺参数、检焦测量、对准测量、工件台运动等协同工作的光刻工艺控制系统及实验数据。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于跨尺度无掩膜光刻样机的研制，涵盖了总体方案设计图纸、集成安装调试等实验数据，并记录了光刻工艺参数、检焦测量、对准测量和工件台运动等协同工作的控制系统信息。数据集由暨南大学创建，数据量为112MB，包含173个文件，格式包括PDF、TIF、JPG和MP4。