跨尺度微纳结构加工装备样机工艺数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
跨尺度微纳结构加工装备样机工艺数据集主要针对跨尺度无掩膜光刻样机研制，记录跨尺度无掩模纳米光刻装备样机总体方案设计图纸，以及集成、安装和调试等实验数据，包括研制光刻工艺参数、检焦测量、对准测量、工件台运动等协同工作的光刻工艺控制系统及实验数据。
提供机构：
暨南大学
