位置敏感探测器测量数据

本研究提出了一种分析位置敏感探测器（PSD）对激光追踪测量系统性能影响的方法，分析了PSD的测量原理，建立了激光追踪测量系统中的PSD测量模型。以SIOS-SP 2000D激光干涉仪为光源，将PSD固定在P-561.3CD PI Mars XYZ纳米定位平台上。PSD光电转换电路输出的电压信号用数字万用表DM3068 Digital Multimete测量。利用PSD内部的除法电路进行增益调节设置不同的位移电压转换系数，纳米定位系统沿光轴方向和垂直光轴方向移动，PSD输出电压值。共采集4组数据，数据量为82.57KB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集源自一项研究，旨在分析位置敏感探测器（PSD）对激光追踪测量系统性能的影响，通过建立PSD测量模型并利用SIOS-SP 2000D激光干涉仪和纳米定位平台进行实验。数据采集涉及PSD光电转换电路输出的电压信号测量，设置不同位移电压转换系数，沿光轴和垂直光轴方向移动，共获得4组数据，总数据量约为82.57KB。