位置敏感探测器测量数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
本研究提出了一种分析位置敏感探测器（PSD）对激光追踪测量系统性能影响的方法，分析了PSD的测量原理，建立了激光追踪测量系统中的PSD测量模型。以SIOS-SP 2000D激光干涉仪为光源，将PSD固定在P-561.3CD PI Mars XYZ纳米定位平台上。PSD光电转换电路输出的电压信号用数字万用表DM3068 Digital Multimete测量。利用PSD内部的除法电路进行增益调节设置不同的位移电压转换系数，纳米定位系统沿光轴方向和垂直光轴方向移动，PSD输出电压值。共采集4组数据，数据量为82.57KB。
提供机构：
北京工业大学
