集成薄膜材料设计、制备与高温特性研究数据集

该研究主要针对“衬底/粘结层/绝缘层/敏感层/防护层”这种多层结构薄膜材料，开展了多层薄膜的设计仿真，以及各层薄膜的制备，测试了研究过程中所制备薄膜的表面形貌、成分、相结构等数据，以及在不同温度下薄膜的电性能。基于这些数据，可以为在金属衬底上制备敏感薄膜提供参考，为研制与结构件一体化集成的薄膜传感器提供材料制备方法，具有重要的价值。