薄膜铌酸锂MZI调制器的3dB电光带宽数据集

薄膜铌酸锂MZI调制器是高速光通信与光计算的核心器件，其3dB带宽表征调制效率衰减至一半的临界频率，直接决定系统传输速率与容量。带宽性能受波导模式匹配度、电极微波-光波相速度同步性、铌酸锂介电损耗及金属导体损耗共同制约。通过行波电极设计、薄膜异质集成与低损耗波导优化，器件3dB带宽可突破100 GHz，支撑800G/1.6T超高速光互连需求。未来需融合纳米级电极加工、非线性抑制及光子-电子协同设计，持续突破带宽极限，赋能6G通信、光子芯片与量子信息处理等前沿领域。