晶片偏移角及蓝膜各向异性力学性能的影响
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
角度偏差测试方法是通过视觉测试，拍照所有测试芯片角度，通过视觉算法分析，对测试芯片角度的偏差进行计算检测。转移结果来源于AOI视觉检测，通过飞拍玻璃基板上的芯片计算芯片实际位置，并与目标位置比较，得到每颗芯片的转移误差。目前采集了425717颗芯片的转移误差作为数据集。
提供机构：
武汉大学
