基于成套MEMS批量制造平台成套工艺能力、8寸晶圆生产能力、3类传感器生产良率数据

本数据包括了产品成套工艺能力、8英寸晶圆生产能力、3 类传感器批量生产良率在研究过程中的节点测试数据、最终测试数据，类型是文件，共3件。文件1为成套工艺能力、8英寸晶圆生产能力、3 类传感器批量生产良率测试大纲。文件2为成套工艺能力、8英寸晶圆生产能力、3 类传感器批量生产良率评估方案，采用专家见证测试的方式进行采集，采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2024年12月5日。文件3采用自测试方式，采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2022年1月~2024年12月。数据量3.4MB。