ВЛИЯНИЕ АЗОТА НА КОРРОЗИОННУЮ СТОЙКОСТЬ TiON ПЛЕНОК

Использование магнетронного напыления при различных режимах дает возможность получать тонкие пленки Ti O N в более неравновесных состояниях по сравнению с другими методами получения оксинитридных пленок, используемых в различных отраслях промышленности и медицине. Неравновесное состояние пленок характеризуется уникальными физикохимическими свойствами. Допинирование азотом тонкой пленки, с технологическим замещением атомов кислорода на атомы азота, изменяет морфологию и структуру покрытия 1. Целью настоящей работы являлось исследование коррозионной стойкости, определение всех возможных параметров коррозии пленок Ti O N в водных растворах электролита.