激光加工金刚石热沉微结构的参数调控规律与光机电协同专用装备开发数据集

本数据集面向激光精密加工金刚石微流道热沉结构开展研究，建立了脉冲激光与金刚石相互作用下的分子动力学模型与有限元模型，系统性地研究了激光能场作用下的温度场、应力场等分布规律，揭示了金刚石材料的氧化机制与去除机理，研究了不同加工策略下的微槽成形机制，通过模拟形成了不同扫描参数对特征尺寸的影响规律。进一步地，通过搭建紫外脉冲激光加工平台，通过系统性的实验研究了各激光参量下微槽形貌演化，提出了激光铣削/旋切加工工艺，结合光机电协同调控实现了大深宽比金刚石微结构的高质量制造，得到了激光参量-微槽特征尺寸变化规律与相关数据。最后，通过开发光机电协同控制的轨迹分配算法，实现了五轴加工机床的进给轴轨迹插补，基于五轴机床的五轴联动插补研究，实现了金刚石复杂结构加工的高精度对准，完成了金刚石热沉激光专用加工装备的开发与制造，并形成了一套完整的五轴加工算法，数据量为117MB。