基于硅基铌酸锂薄膜的双层结构A1模声学谐振器相关数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
本文报道了一种由Y128°LiNbO3薄膜和AlN涂层组成的双层结构A1模声谐振器。通过对比实验，首次在双层A1模器件中验证了机电耦合增强效果，获得了4.0%的大幅度kt2增量。此外，基于双层结构的谐振腔的q因子和相速度显著提高。在模拟中，所提出的A1模器件的散热性能也得到了改善。报道的谐振器可能提供一种滤波解决方案，具有更大的分数带宽(FBW)，更高的频率，更低的插入损耗(IL)和更高的5G前端功率处理。
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所
