微纳传感器多层膜结构有限元仿真数据集

《微纳传感器多层膜结构有限元数据集》是北京航空航天大学微纳传感器寿命提升与验证课题组研究成员利用有限元仿真软件，对某型的多层薄膜传感器进行建模及热仿真得到的仿真数据，对建立薄膜传感器机械失效可靠性模型以及分析薄膜应力影响因素具有重要作用。采集时间：2021年4月20日到2022年6月30日；采集地点：北京；主要软件：ANSYS Workbench，ABAQUS。

"Finite Element Dataset for Multi-layer Film Structures of Micro/Nano Sensors" is a collection of simulation data generated by researchers from the Research Group on Lifetime Improvement and Validation of Micro/Nano Sensors at Beihang University. The team utilized finite element simulation software to conduct modeling and thermal simulation on a specific type of multi-layer thin film sensor. This dataset holds great significance for establishing mechanical failure reliability models of thin film sensors and analyzing the influencing factors of thin film stress. The data was collected from April 20, 2021 to June 30, 2022 in Beijing, and the main software employed include ANSYS Workbench and ABAQUS.

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集是北京航空航天大学针对微纳传感器多层膜结构，通过有限元仿真软件（如ANSYS Workbench、ABAQUS）进行建模和热仿真生成的仿真数据，采集于2021年至2022年期间。数据主要用于支持薄膜传感器机械失效可靠性模型的建立和薄膜应力影响因素的分析，属于航空、航天可靠性工程领域的研究资源，数据量较小（217.51KB），包含4个文件，源自国家重点研发计划项目。