基于飞秒激光光刻辅助化学机械抛光（PLACE）技术制备高品质薄膜铌酸锂光学微腔及微腔品质因子测试实验数据集

本数据集收集了2020年01月至2024年11月期间采集的高Q值铌酸锂微盘谐振腔透射谱、非线性频率转换等相关数据。在我们的研究中，利用飞秒激光光刻辅助化学机械抛光技术，并通过抑制薄膜和微结构制备过程中的缺陷，在铌酸锂薄膜上制备了高Q值的微盘谐振腔，本征品质因子超过108。数据包括微盘谐振腔的测试装置图、光学显微图、扫描电镜图、模场仿真分布图、Q值图、非线性频率转换图等过程文件。本数据集为从集成量子信息处理、现代通信到腔量子电动力学的发展提供了数据基础和支持，具有重要的学术和应用价值。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集涵盖了2020年1月至2024年11月期间，利用飞秒激光光刻辅助化学机械抛光技术制备的高品质薄膜铌酸锂微盘谐振腔的实验数据，包括透射谱、非线性频率转换等，本征品质因子超过108。它为集成量子信息处理、现代通信等领域提供了数据支持，具有重要学术和应用价值。