高精密碳化硅多孔陶瓷真空吸盘部件性能数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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资源简介：
高精密碳化硅多孔陶瓷真空吸盘部件性能数据集面向碳化硅多孔陶瓷吸盘制备加工装配及测试产生的数据，本数据集包含G5和G6陶瓷吸盘产品制备过程中加工及拼装的相关数据，共包括2个二级文件，其中：(1) 01 G5产品过程相关数据，数据量96.8Mb；(2)02 G6产品过程相关数据，数据量68.5Mb。
提供机构：
中国科学院上海硅酸盐研究所
