波导C波段损耗及晶圆良率

本数据集主要面向集成光电子器件领域，围绕晶圆级硅基波导性能与量产能力展开研究。本数据集实验对象是硅基波导在C波段的输出功率与损耗，并在波导损耗测试基础上对晶圆良率的提升和硅光晶圆量产能力进行研究。数据集中波导C波段损耗与晶圆良率数据采集的时间为2025年10月，地点为中国科学院微电子研究所；量产能力数据采集的时间为2025年10月，地点为北京燕东微电子科技有限公司净化厂房。在未来的应用中，研究人员可以通过对该数据集方法与数据的进一步分析和处理，提升晶圆级硅基异质光子集成的精度和生产效率，推动硅基异质光子集成产业的技术革新。