物理气相输运法制备2英寸AlN单晶晶锭、衬底数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd4136f17560281a74acb6&type=1
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资源简介：
数据集包含长晶工艺优化过程中的模拟仿真数据及表征数据以及2英寸AlN单晶晶锭和衬底的制备过程包括直径、厚度等关键指标。
提供机构：
奥趋光电技术（杭州）有限公司
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