硅基MEMS继电器性能仿真与测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=675f82a4195d2602b17dab9c&type=1
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资源简介：
本数据集包含对商用静电驱动MEMS开关的测试分析以及对MEMS电磁执行器的仿真建模和性能测试。对于商用静电驱动MEMS开关，对其；对MEMS电磁执行器，建立有限元仿真模型，探究线圈尺寸参数和匝数对位移的影响，对加工得到的器件进行位移测试，并分析通断电时的反射响应以及执行器开关时的瞬态响应。
提供机构：
清华大学
