8英寸MEMS传感器定制化氧化钒薄膜核心性能参数数据集

氧化钒薄膜电学、光学、磁学等特性会随着温度变化而变化，广泛应用于光电开关、智能窗、红外温度传感器等领域。本数据集含有8英寸MEMS传感器定制化氧化钒薄膜的厚度和方阻值核心性能参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内氧化钒薄膜的厚度平均值、均一度和厚度分布图；方阻值平均值、最大值、最小值、标准差和阻值分布图等核心性能参数。本数据集为8英寸MEMS传感器定制化氧化钒薄膜核心性能参数，其中具有不同厚度、特定方块阻值的高均一性氧化钒薄膜对红外温度传感器制备工艺具有重要的支撑作用。