晶圆级混合硅铌酸锂薄膜制备相关表征数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
本数据集为晶圆级混合硅铌酸锂薄膜制备相关表征数据，对应论文“Wafer-Scale Fabrication of Silicon Film on Lithium Niobate on Insulator (LNOI)”，数据来源单位为中科院上海微系统所，包括采用FDTD软件模拟的模式有效因子、单模条件对应的波导几何尺寸、垂直绝热耦合器尺寸效率等，以及采用HRXRD测得的晶体质量参数。文件夹总大小771.91KB。
提供机构：
国家基础学科公共科学数据中心
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集提供了晶圆级混合硅铌酸锂薄膜制备相关的表征数据，对应关于绝缘体上铌酸锂硅薄膜晶圆级制备的研究论文。数据由中科院上海微系统所产生，包括基于FDTD模拟的模式有效因子、波导几何尺寸和垂直绝热耦合器效率，以及HRXRD测量的晶体质量参数。
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