In2O3:F 薄膜原子层沉积生长与结构表征数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-21 收录
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资源简介：
该数据集基于原子层沉积工艺制备的超薄 In2O3薄膜，并通过 CF4 等离子体处理实现不同程度的氟掺杂，系统收集了薄膜在不同氟化处理条件下的原子层沉积生长速率、表面形貌以及微观结构信息。数据集包括薄膜生长速率随前驱体剂量与生长条件变化的数据、原子力显微镜（AFM）表征的表面形貌图像、高分辨透射电子显微镜（TEM）及对应电子衍射图像，以及能量色散谱（EDS）元素分布数据。
提供机构：
北京大学深圳研究生院
