MEMS三维电场传感器现场校准与应用验证
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介:
三维电场探测在气象、电力、航空航天、石油化工等诸多领域有广泛应用,开展MEMS三维电场传感器现场校准与应用验证关键技术突破有助于促进MEMS三维电场传感器在上述领域静电探测与防护技术中的应用推广。本数据集收集了2021年11月至2024年10月期间开展MEMS三维电场传感器现场校准与应用验证关键技术研究产生的数据。数据包括形成的设计图、仿真图、实物图等过程文件;研究形成的标准等成果文件;相关技术考核指标所取得的第三方测试报告;以及应用单位出具的应用证明。本数据集的数据量为61.83MB。为本数据集为研究电场传感器校准提供了数据基础和支持,具有重要的学术和应用价值。
提供机构:
中国科学院微电子研究所



