外延生长AlSapphire样品材料表征数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=64ef85b7bb16e0591d025aab&type=1
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资源简介：
该数据集包含的数据主要是通过多种材料表征手段（原子力显微分析、扫描电子显微分析、透射电子显微分析、反射式高能电子衍射、X射线衍射、X射线反射）表征通过分子束外延方式在蓝宝石衬底上制备的高品质铝薄膜特性，通过该数据集可以指导对材料生长过程中参数的优化，提升材料品质。
提供机构：
中国科学技术大学
