氧化镓薄膜XRD数据集

晶体质量是反应半导体材料质量的核心指标。本研究采用MOCVD同质外延工艺生长氧化镓薄膜，通过优化外延条件，有效提升薄膜结晶质量，从而获得高质量氧化镓薄膜。本数据集包含氧化镓薄膜的制备、X射线衍射（XRD）测试及结晶特性分析，涵盖XRD图谱采集、物相鉴定等关键测试内容。