光电探测阵列芯片工作带宽、阵列数
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资源简介：
主要表征了探测器的响应度，带宽等特性。其中响应度使用Agilent B1500A参数分析仪以及Santec 可调谐激光器 TSL-550测得，工作波长设定为1550 nm，探究了不同工作电压对器件响应度的影响。设计了阵列数为4和8的探测器阵列，单个器件的工作带宽使用矢网测试得到，在-1V、-2V以及-3V的工作电压下，器件的带宽逐渐变大。具体数据见附件。
提供机构：
中国科学院半导体研究所
