Si基毫米波滤波器工艺研究数据集

数据集主要面向硅基毫米波滤波器工艺开发、器件流片验证需求建设，基于微纳加工与后仿真平台产生，主要记录了 Si 基毫米波滤波器深孔刻蚀工艺、光刻工艺研发数据，以及 Si 基毫米波滤波器贴近加工参数指标设置的后仿模型和结果数据，具体包括Si基毫米波滤波器的深孔刻蚀工艺数据、光刻工艺研究数据，以及Si基毫米波滤波器贴近加工参数指标设置的后仿真模型和结果数据。由项目参与单位华南理工大学与广州艾佛光通科技有限公司以及委托的第三方测试机构采用光学显微镜，矢量网络分析仪等仪器设备测量和采集数据，原始数据及图表包含jpg、xlsx、zip、pdf等格式，数据体量为2.26GB。