半导体制造声-电磁耦合电源管理监测数据

该数据为半导体制造过程中在线监测仪电源管理系统的核心调控参数数据。其处理过程遵循特定规则：首先对收集的设备运行数据进行声空化增强与希尔伯特变换，提取瞬时相位以生成预处理信号和耦合特征向量；然后基于这些中间数据，结合超声波换能器与磁场强度，分别计算声致流体力与电磁致热功率；最终通过多物理场耦合模型将两者融合，生成声-电磁耦合调控参数。此数据主要用于实时反馈控制，动态调整电源输出，确保监测系统在复杂工况下的高精度与稳定性。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集记录了半导体制造过程中在线监测仪电源管理系统的核心调控参数，涵盖了通过声空化增强、希尔伯特变换及多物理场耦合模型生成的声-电磁耦合特征向量与调控参数。数据主要用于实时反馈控制，动态优化电源输出，提升监测系统在复杂工况下的精度与稳定性。