高精度碳化硅涂层石墨托盘开发数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-08-30 收录
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资源简介：
高精度碳化硅涂层石墨托盘主要针对Micro-LED应用高波长均匀性、高电阻率均匀性、高使用寿命的需求开展研究，根据热力学计算和已有研究基础，结合温场模拟和仿真，优化工艺参数，实现对石墨纯度的精确控制制得低杂质含量、高涂层均匀性的碳化硅涂层石墨盘组件。该数据集主要采集了不同石墨镀碳化硅涂层的测量数据，数据量约为14.2MB。
提供机构：
中微半导体设备(上海)股份有限公司
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集针对Micro-LED应用中对高波长和电阻率均匀性及长寿命的需求，通过热力学计算、温场模拟和工艺优化，开发了低杂质含量、高涂层均匀性的碳化硅涂层石墨托盘组件。数据集包含不同石墨镀碳化硅涂层的测量数据，总数据量约为14.2MB。
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