集成薄膜传感器测试与不确定度评定数据集

本集成薄膜传感器测试与不确定度评定技术研究数据集由中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所动态温度及流速实验室在2021-2025年实验产出，包含薄膜温度传感器静态及动态性能、薄膜应变传感器静态及动态性能、薄膜热流传感器静态及动态性能校准数据，数据采集覆盖校准用测试设备、校准方法及性能指标分析。使用COMSOL软件进行数据仿真研究，采用Qrigin软件对试验数据、图像数据进行分析和处理。基于本数据集可以开展集成薄膜传感器性能参数校准试验，为研制集成薄膜传感器性能试验验证与优化提供必要的输入条件。