高精度过载传感器加工版图设计数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-05-16 收录
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资源简介：
高精度过载传感器加工版图设计数据主要面向高精度过载传感器研究，基于L-Edit绘制，记录了高精度过载传感器芯片加工版图设计过程中产生的数据，汇总了过载传感器芯片加工过程中涉及的多张版图，以表格的形式给出了版图明细和对准关系清单。
提供机构：
西安交通大学
