片上荧光显微系统及其在可见细胞检测等方面的应用数据集

为解决微流体生物细胞荧光精准有效激发难题及对所激发荧光进行高效收集和检测瓶颈，开展了片上荧光显微系统及其在可见细胞检测等方面的应用研究，以利用集成光子芯片有效收集荧光以实现集成化超分辨生物荧光显微系统对生物细胞的高精度检测。在利用光子无源器件实现平面内光的传播和操控的基础上，通过聚焦衍射光栅调控光的相位，使渐次经过光栅依次衍射到空间的光场在平面外的微流道通道指定位置满足相位匹配条件而产生干涉增强，形成微米尺度的空间光场聚焦。当荧光标记的细胞在微流道内流经光场焦点时，在高能量聚焦光场的作用下，激发出各向同性的荧光， 再通过图像传感器检测荧光信号，实现片上荧光系统在诸如单细胞检测的生命科学领域的示范应用。数据集包含开发的低温氮化硅生长工艺、氮化硅聚焦衍射波导光栅、设计和加工片上荧光激发后的滤波片、低温绿光薄膜生产工艺及特性、片上荧光显微系统的设计研发、片上荧光系统原型机研发测试、全集成片上荧光系统的单细胞检测等数据。数据集容量为11.1GB。