阴极辊微观组织和表面状态对初始沉积层晶体结构的影响机制数据集

本数据集是开展阴极辊微观组织和表面状态对初始沉积层晶体结构的影响机制研究过程中产生的检测数据、现场情况及相关科学数据，具体包括：（1）阴极辊钛材微观组织结构的调控研究数据集，包括：旋压态钛试样在不同退火工艺下的硬度测试、钛材表面晶粒尺寸的OM与背散射电子衍射EBSD表征及定量统计、钛材表面晶粒取向的EBSD表征及织构分析、钛材微观组织特征的TEM表征与分析。（2）阴极钛材表面状态对铜离子电沉积生长行为及初始沉积层的影响研究数据集，包括：不同表面处理方式下钛材表面状态的扫描电镜（SEM）表征与分析、钛材表面粗糙度的测量与分析、初始铜晶核尺寸与面覆盖率的定量统计、铜箔毛面微观组织特征的SEM、EBSD表征与分析。（3）阴极辊钛材晶粒度对铜离子电沉积生长行为及初始沉积层的影响研究数据集，包括：钛材表面晶粒组织的OM与SEM表征及三维表面轮廓测试、钛材表面晶粒尺寸及晶粒度的定量统计、铜初始沉积层铜晶核形貌的SEM表征、铜箔光面/毛面形貌和致密性的SEM表征、铜箔光面/毛面晶粒取向的EBSD表征及晶粒尺寸与孪晶密度的定量统计、钛/铜界面微观组织的EBSD表征与分析。（4）阴极辊钛材晶粒取向对铜离子电沉积生长行为及初始沉积层的影响研究数据集，包括：阴极辊钛材表面晶粒取向的EBSD表征与分析、不同晶粒取向钛材表面铜晶核形貌的SEM表征与分析、不同晶粒取向钛材表面的铜箔晶粒尺寸定量统计、铜箔微观组织特征的TEM表征与分析。