ma4163
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Revealing alternating stress gradients and dislocation densities in 100 nm resolution across AlxGa1-xN multilayers on Si(111) and in AlxGa1-
揭示了Si(111)衬底上铝镓氮（AlxGa1-xN）多层膜以及AlxGa1-中，空间分辨率达100 nm的交变应力梯度与位错密度分布
