厚金属膜电镀仿真有限元模型数据集

本数据集包含厚金属膜单元电镀工艺有限元模型分析以及激光诱导石墨烯异质种子层上铜电镀仿真建模，研究电化学沉积参数，包括电解液组成、电极反应动力场、工艺温度等参数，对沉积厚度、化学组份、加工误差与均匀性的影响。通过控制参量法，分析工艺参数对各步基础工艺的影响规律。对TSV，异质种子层等典型电镀工艺类型进行建模分析。