光栅衍射波前扩展包与评估数据

光栅衍射波前扩展包与评估数据是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所进行开发，主要面向光栅刻划机波前数字化重建需求，实现光栅刻划中在线数字化波前及光栅分辨本领获取，数字波前（PV值与RMS值）与光栅分辨本领理论与实验对比误差，最终形成评估报告。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所开发，旨在满足光栅刻划机波前数字化重建的需求。它主要用于在线获取数字化波前及光栅分辨本领，并通过对比理论与实验数据，生成数字波前（PV值与RMS值）与光栅分辨本领的评估报告。