玻璃微细流路模压成形仿真及实验

微流控芯片技术是一种以亚毫米尺度的流体工程操作为特征的技术，在提高医疗诊断效率和生物学研究方面显示出相当大的前景。玻璃芯片的传统的加工方法如干法刻蚀、湿法刻蚀等所需的加工步骤多，成本高，难以实现高精度制备，限制了其大批量生产的可能性。模压成形技术工艺过程简单，能够模压具有微小结构的复杂表面，可实现高效复制以及批量化生产，这为玻璃微细流路成形提供了新的工艺方法。针对微结构模具加工困难、玻璃成形精度及质量难以准确控制等问题，本数据集文研究了玻璃微流控芯片中典型微细流路的成形工艺。在MSC.Marc非线性有限元软件平台上基于广义麦克斯韦模型建立了仿真模型，对钠钙玻璃成形过程进行了模拟，研究了模压温度和模压速度对成形沟槽深度和充型率的影响，最后通过实验结果验证了所建立的仿真模型的有效性。数据量为1.14MB。