一种金刚石NV色心的定点加工与检测系统 及其加工和检测方法

本发明公开了一种金刚石NV色心的定点加工与检测系统及其加工和检测方法，属于激光微纳加工技术领域，该系统包括位置控制与光学检测平台、计算机控制模块及时序可控微波产生模块；本发明将NV色心加工与检测系统相结合，复用了部分硬件设备，减少了系统体积，通过时序可控微波产生模块实现高效、高精度的检测金刚石NV色心位置精度、产率以及在金刚石内部的晶向取向。本发明提出的检测方法，有效解决荧光扫描方向与加工方向存在夹角的问题，实现实际加工坐标与经校正的理想加工坐标偏差快速计算分析。本发明提出的金刚石NV色心检测方法，有效解决荧光扫描方向与加工方向存在夹角的问题，实现实际加工坐标与经校正的理想加工坐标偏差快速计算分析。