高精度微结构玻璃透镜阵列

采用多步加热与退火、模压速率分段控制模压成型工艺，模压了微柱状非球面阵列、非球面复眼阵列以及非球面衍射透镜三种微透镜阵列元件。采用白光干涉仪测量表面粗糙度，轮廓仪测量面型精度。检测微柱状非球阵列透镜面型精度及表面粗糙度，对每一条柱面选取1个位置进行测量，其面型精度PV分别为0.2675 μm、0.2192 μm、0.2626 μm，表面粗糙度Sa分别为2.7919 nm、2.2797 nm、3.0693 nm。对于非球面复眼阵列玻璃透镜面型精度及表面粗糙度测试，选取每一圈中的一个非球面子眼进行测量，非球面子眼1、2、3的面型精度PV分别为0.298 μm、0.496 μm、0.445 μm，表面粗糙度Sa分别为3.357 nm、3.606 nm、4.398 nm。对于非球面衍射透镜面型精度及表面粗糙度检测，选取测点1（非球面）和测点2（衍射环带）进行测量，非球面的面型精度为0.396 μm，衍射环带面型精度为0.0613 μm，透镜的表面粗糙度Ra为2.264 nm。数据量为24.6MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集涉及高精度微结构玻璃透镜阵列的模压成型工艺，包括微柱状非球面阵列、非球面复眼阵列和非球面衍射透镜三种元件的面型精度与表面粗糙度检测数据。数据总量约为24.6MB，由湖南大学发布，源自国家重点研发计划项目。