硅纳米线均匀性测试及结果分析数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
均匀性主要通过结构设计和工艺攻关得到均匀性好的硅纳米线，从而实现传感器芯片批量制备。委托上海市计量测试技术研究院，通过SEM扫描电镜对硅微纳结构宽度进行了测量，并通过公式计算得到硅微纳结构制造均匀性。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
